名称：真空镀膜设备张以忱__真空工程技术丛书
作者:张以忱
出版社:冶金工业出版社
格式：pdf,txt
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真空镀膜设备张以忱__真空工程技术丛书内容简介
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真空镀膜设备张以忱__真空工程技术丛书部分内容
本书详细介绍了真空镀膜设备的设计方法与镀膜设备各机构元件的设计计较、设计参数的选择，其中重点、系统地介绍了磁控溅射靶的设计计较和溅射镀膜的膜厚均匀性设计。全书共分13章，主要讲解真空镀膜室结构、镀膜室工件架、真空镀膜机的加热与测温装置、真空镀膜机的抽气系统、真空室电和运动的导入结构、溅射镀膜设备的充布气系统、蒸发源、磁控溅射靶、溅射镀膜的膜厚均匀性等方面的设计与计较。
本书有很强的实用性，适合真空镀膜设备的设计制造、真空镀膜设备的应用等与真空镀膜技术有关的行业从事设计、设备操作与维护的技术人员使用，还可用作高档院校相关专业师生的教材及参考书。
1 真空镀膜设备设计概述
随着我国国平易近经济的发展，真空镀膜设备在工业中的应用越来越广，各范畴的不同需求对真空镀膜设备的设计提出了越来越严格的要求。虽然近年来我国真空镀膜设备的设计和制造水平有了长足的前进，但是整体来说，国内真空镀膜设备的整体设计能力和生产水平不高，在品种和质量上难以参与国际市场的竞争。利用计较机软件对磁控溅射阴极靶、离子源、真空室体、加热器等磁控溅射镀膜机的重要部件进行模拟仿真，不但年夜年夜提高了磁控溅射镀膜机的设计和制造水平，而且也是真空镀膜设备设计方法的一次重要突破。
在20世纪80年月以前，真空镀膜设备的设计以理论分析和模子实验为主要方法。工业技术免费电子书《真空镀膜设备张以忱__真空工程技术丛书》的作者张以忱和冶金工业出书社为本书的写作出书都付出了很多汗水。研究者采用理论公式近似解决在真空镀膜设备设计中遇到的问题。例如磁场分析问题，由于鸿沟结构复杂，难以用理论公式表述，只能把实际鸿沟简化，用近似理论公式表述，得到的近似结果，提供设计参考。在此根本上，把永磁体制作成实物模子，经过实验检验后，才能用到磁控溅射镀膜机上，在此过程中不得不留有很年夜工程裕量，因此，从设计到生产，周期长、费用高、风险年夜。计较机技术的发展，使数值分析手段被引入到磁控溅射镀膜机及相关部件的设计中。因此，增强高性能真空镀膜设备的设计开辟工作，已是势在必行。在这个阶段，国外相关的真空镀膜设备研发机构和公司形成了用于真空镀膜设备及相关器件设计的若干成熟的计较机软件。从功能上讲，这些软件分为电磁场分析软件、磁控溅射与沉积行为分析软件、热场分析软件、机构动力学分析软件和荷电粒子动力学分析软件。本站的pdf电子书《真空镀膜设备张以忱__真空工程技术丛书》主要是由网络收集整理来的，最终著作权仍归属于原书的作者张以忱和出版商。如果您喜欢这本书，请多多支持我们的图书出版事业，让辛苦写书的作者得到应有的回报。在此也要感谢冶金工业出版社，感谢出版社为《真空镀膜设备张以忱__真空工程技术丛书》的出版所做的工作。本站只提供图书的试读版，同时欢迎更多的爱好读书的朋友来电子书下载网来分享更多好看的pdf电子书，免费下载您所需要的电子书籍。最后衷心感谢您下载《真空镀膜设备张以忱__真空工程技术丛书》pdf版免费电子书。
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