名称：微电子机械加工系统(MEMS)技术基础
作者:孙以材庞冬青
出版社:冶金工业出版社
格式：pdf,txt
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微电子机械加工系统(MEMS)技术基础内容简介
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微电子机械加工系统(MEMS)技术基础部分内容
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本书可供国防、航天、医疗等专业的技术人员阅读，也可供大专院校有关专业师生参考。
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