名称:硅外延片
作者:未知
出版社:未知
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本尺度由全国半导体设备和材料尺度化技术委员会提出。本尺度代替gb/t 14139-1993《硅外延片》。
本尺度由全国半导体设备和材料尺度化技术委员会材料分技术委员会归口。
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