名称：电子工业用气体 5N氯化氢
作者:未知
出版社:中国标准出版社
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电子工业用气体 5N氯化氢内容简介

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电子工业用气体 5N氯化氢部分内容

本尺度根据gb／t 14602--1993《电子工业用气体氯化氢》同类产物尺度，结合原料、生产工艺特点及半导体工艺对氯化氢产物的新要求而制定。txt电子书免费下载《电子工业用气体 5N氯化氢》和中国尺度出书社为本书的写作出书都付出很多汗水。
　　 本尺度对杂质水、甲烷+乙炔和金属离子含量的测定方法与国际先进尺度semi c3.35—1101的方法基底细似，而对杂质氧+氩、氮和一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法则优于尺度semi c3.35-1101的方法。因此，需要制定本尺度。国家尺度gb／t 14602--1993《电子工业用气体 氯化氢》在产物质量控制指标及其检验方法上已不适合当前半导体工艺的新要求，尤其未能划定对半导体器件质量有重要影响的杂质——金属离子的含量。
　　 本尺度首次提出了氯化氢专用钢瓶的处置、产物充装和分装法则等。
　　 本尺度附录a、附录b为规范性附录，附录c为资料性附录。
　　 本尺度由全国半导体材料和设备尺度化技术委员会气体分会(sac／tc 203)提出并归口。
　　 本尺度起草单元：北京华宇同方化工科技开辟有限公司、光明化工研究设计院、信息财产部尺度化四所。
　　 本尺度主要起草人：张吉瑞、孙福楠、刘筠。
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