2019年5月12日16:28:531 1.4K1

超精密加工技术 内容简介

本书内容包括超精密加工基础，超精密切削，超精密磨削，超精密研磨与抛光，特种加工，金属超精密加工实例，硬脆非金属材料的超精密加工，半导体基片的超精密加工等。

超精密加工技术 目录

第一章 绪论

第一节 超精密加工技术的概念

第二节 超精密加工技术的意义和应用

第三节 超精密加工技术的新课题

第二章 超精密加工基础

第一节 决定加工精度的主要因素

第二节 热变形

第三节 力变形一刚度

第四节 磨损

第五节 表面质量

第六节 超精密加工机械用的部件

第七节 超精密加工环境

第三章 超精密切削

第一节 绪言

第二节 超精密金刚石刀具切削的机理

第三节 超精密切削加工用金刚石刀具

第四节 金刚石刀具切削的精度与表面粗糙度

......

第四章 超精密磨削

第五章 超精密研磨和抛光

第六章 特种加工

第七章 金属超精密加工实例

第八章 硬脆非金属材料的超精密加工

第九章 半导体基片的超精密加工

参考文献