名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
作者:未知
出版社:未知
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硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法内容简介

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硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法部分内容

　　本尺度由全国半导体设备和材料尺度化技术委员会提出。
　　本尺度与原尺度相比，主要有如下改动：
　　——增加了“术语”、“试剂与器材”；
　　——增加了“检验报告”内容；
　　——对试样尺寸的切取方向和试样处置内容增加了要求。本尺度代替gb 4061－1983《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》。工业技术类pdf电子书免费下载《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》和未知为本书的写作出书都付出了很多汗水。
　　本尺度由全国半导体设备和材料尺度化技术委员会材料分技术委员会归口。
　　本尺度起草单元：洛阳中硅高科技有限公司。
　　本尺度主要起草人：袁金满。
　　本尺度所代替尺度的历次版本发布情况为：
　　——gb 4061－1983。
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